光亮退火是指真空热处理过程中工件基本不氧化，表面保持光亮的退火。光亮退火主要是在密闭的炉内加热退火，然后在炉内缓慢冷却到500以下，再自然冷却，工件会有金属光泽，不会脱碳。

光亮退火既保证不氧化又具有还原能力，通常在H2保护下退火，一般用于不锈钢板的退火处理。光亮退火一般使用保护气体，包括单一惰性气体氩气或氦气，以及混合气体CO  H2 N2 CO2、N2 H2、N2 CO2 H2等。通过真空热处理调整这些混合气体的成分，钢板退火过程中的氧化还原、脱碳和渗碳速度等。可以使之相等，从而实现真空热处理钢板的无氧化脱碳退火等。退火后，钢板表面有一层看不见的氧化膜，保护金属光泽。预真空保护气氛炉用于铜材料的光亮退火，兼有真空炉和气氛炉的优点，不仅气体消耗少，而且设备价格较低。用于预抽真空铜材料退火的保护气氛是体积分数为99.9%或99.99%的纯氮。